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VSP-88D Neo2

VSP-88D Neo2

Application

Specification

SystemDimension 1100(W)x 1250(D) x 1770(H)mm
InternalChamber Dimension 390(W)x 531.2(D) x 27.5(H)mm
SubstrateDimension 25~100(W)MM140~330(L)mm
PowerSource STD.RF generator, 1KW, 13.56MHz
VacuumPump STD.Dry Pump
GasFlow Controller 1Mass Flow Controller
PCBased Main Control IndustrialPC, C++, Touch Panel
ActualSPH 300strips/h (3 lanes), 400 strips/h (4 lanes)
Utility 220VAC, 3 Phase, 50/60Hz, Air 4~6 Kgf/cm3

Features

스트립 기반의 플라즈마 시스템
자동 로딩 언로딩
동일한 로딩,언로딩 스테이지 존
작은사이즈의 설치면적 실현
진공펌프 내장형 설계
랜 네트워킹 및 CIM
그리퍼 이동 타입