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VSP-88D Pro1-L300

VSP-88D Pro1-L300

Application

Specification

System PC Base Control / Windows XP / Touch Screen
RFGenerator & Matcher 1㎾ / 13.56㎒ / Air Cooling, Safety Interlock
VacuumPump
(Built in System)
Dry Pump (620L/Min @50/60㎐)
[*Optional : Oil Pump]
GasFlow Controller 2Mass Flow Controller for Ar or other gas
SystemDimension (W)1800*(H)1570*(D)1270㎜
ChamberDimension (W)284*(H)33*(D)434㎜
ElectricalPower 220VAC, 3Phase, 25A, 50/60㎐
Capability Strip Width : W24.5~110㎜ (~80㎜ : 4Lane / 100㎜ : 3Lane)
Strip Length : W170~300㎜
Transferring MGZ to MGZ Conveyor Loading
Weight 1,200㎏
LeadTime(UPH) 270 strips/hr, with 3Lanes (based on plasma time 10sec)
Facility CDA : 5㎏/㎠
N2 : 4㎏/㎠
Ar : 3㎏/㎠

Features

- 푸셔타입으로 길이가 길고 무거운 자재도 핸들링 가능

- 가스 전환장치를 탑재하여 소진시 자동으로 가스통 전환가능

- 전자동 컨버전 기능 탑재로 자재(Leadframe/Substrate)크기 변경 손쉬운 운용

- 특수 절연된 전극 구조로 균일한 표면 접촉각 제어 가능: 10 미만

- PC기반의 프로그램 제어(C++) 손쉬운 터치스크린 조작 방식

- 매거진 자동 로딩/언로딩 기능으로 작업자의 편리성과 미스오퍼레이션 방지

- 고품질 균일성으로 믿을 있는 세정능력

- 특화된 가스 노즐 디자인으로 균일한 크리닝 효과

- 국산화된 장비로 저렴한 가격과 낮은 운영 비용