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VSP-88D PP2

VSP-88D PP2

Application

Specification

System PCBase Control / Windows XP / Touch Screen
RFGenerator & Matcher 1kw/ 13.56Mhz / Air Cooling, Safety Interlock
VacuumPump
(Built in System)
OilRotary Pump(2sets)
[*Optional: Dry Pump]
Gas Flow Controller 1Mass Flow Controller for Ar or other gas
SystemDimension (W)2100*(H)1800*(D)1250mm
ChamberDimension (W)306*(H)27.5*(D)281mm
ElectricalPower 220VAC,3Phase, 30A, 50/60Hz
Capability 3 Lane(Strip Width:62/74/77.5mm)
2 Lane(Strip Width: 95mm)
ConversionWidth 62/74/77.5/95mm
Weight 1,500kg
LeadTime(UPH) 60Strips/hr based on 300sec C/T
Facility CDA:5kg/cm2
N2:4kg/cm2
Ar:3kg/cm2

Features

- 높은 생산성을 위한 좌,우 2개의 멀티 진공챔버 구조
- 자재폭이 넓고 얇은 PKG 및 Warpage가 심한 자재를 수용 (Max. 10mm)
- Carrier 타입 핸들링으로 Warped strip 운용 가능하도록 특수설계
- 메뉴얼 컨버전 기능 탑재로 자재(MGZ)크기 변경시 손쉬운 운용
- 특수 절연된 전극 구조로 균일한 표면 접촉각 제어 가능 : 10도 미만
- PC기반의 프로그램 제어(C++)와 손쉬운 터치스크린 조작 방식
- 매거진 자동 로딩/언로딩 기능으로 작업자의 편리성과 미스오퍼레이션 방지
- 고품질 및 균일성으로 믿을 수 있는 세정능력
- 특화된 가스 노즐 디자인으로 균일한 크리닝 효과
- 국산화된 장비로 저렴한 가격과 낮은 운영 비용