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VSHO-1CM
Application
Polyimide 감광막과 웨이퍼 간의 접착력 증진
경화 건조
우수한 온도 제어 능력
사용하기 쉬운 PC Control 프로그램
전용 소프트웨어로 기기의 운전 및 데이터 관리 편리
밀폐 및 단열을 위한 우수한 구조
과승 방지 장치로 시료 보호
Specification
| Model | VSHO-1CM | ||
|---|---|---|---|
| Oxygen Monitoring | O2 Analyzer | Optional | |
| Cooling Type | Water Cooling | 3 – 5 Kg/cm2, below 20℃ | |
| Purge | N2 Gas | 0 – 500 SCFH | |
| Exhaust | Cold Trap | Water Cooling | |
| Material | Internal | Stainless Steel | |
| External | Stainless Steel or Steel Powder Coating | ||
| Heater | 24 KW / Chamber | ||
| Insulation | Ceramic Wool | ||
| Safety Device | Electrical Over Temp. Limit | ||
| Mechanical Over Temp. Limit | |||
| Electric Requirement | 220VAC or 380VAC, 3 Phase, 50/60Hz | ||
| Network | SECS/GEM, LAN network | ||
Features
온도범위 : 10℃ ~ 450℃
온도 제어 정확도 : ± 0.5℃
Digital Recording 기능 및 네트워킹 구현
제어패널을 통한 온도 조절과 멀티 스탭큐어 가능
랜 네트워크 및 CIM, PC 하드 디스크에 데이터 보관
LCD 모니터상의 IN/OUT시간 자동 표시