SystemDimension | 1100(W)x 1250(D) x 1770(H)mm |
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InternalChamber Dimension | 390(W)x 531.2(D) x 27.5(H)mm |
SubstrateDimension | 25~100(W)MM140~330(L)mm |
PowerSource | STD.RF generator, 1KW, 13.56MHz |
VacuumPump | STD.Dry Pump |
GasFlow Controller | 1Mass Flow Controller |
PCBased Main Control | IndustrialPC, C++, Touch Panel |
ActualSPH | 300strips/h (3 lanes), 400 strips/h (4 lanes) |
Utility | 220VAC, 3 Phase, 50/60Hz, Air 4~6 Kgf/cm3 |
스트립 기반의 플라즈마 시스템
자동 로딩 언로딩
동일한 로딩,언로딩 스테이지 존
작은사이즈의 설치면적 실현
진공펌프 내장형 설계
랜 네트워킹 및 CIM
그리퍼 이동 타입