System | PC Base Control / Windows XP / Touch Screen |
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RFGenerator & Matcher | 1㎾ / 13.56㎒ / Air Cooling, Safety Interlock |
VacuumPump (Built in System) |
Dry Pump (620L/Min @50/60㎐) [*Optional : Oil Pump] |
GasFlow Controller | 2Mass Flow Controller for Ar or other gas |
SystemDimension | (W)1800*(H)1570*(D)1270㎜ |
ChamberDimension | (W)284*(H)33*(D)434㎜ |
ElectricalPower | 220VAC, 3Phase, 25A, 50/60㎐ |
Capability | Strip Width : W24.5~110㎜ (~80㎜ : 4Lane / 100㎜ : 3Lane) Strip Length : W170~300㎜ |
Transferring | MGZ to MGZ Conveyor Loading |
Weight | 1,200㎏ |
LeadTime(UPH) | 270 strips/hr, with 3Lanes (based on plasma time 10sec) |
Facility | CDA : 5㎏/㎠ N2 : 4㎏/㎠ Ar : 3㎏/㎠ |
- 롱 푸셔타입으로 길이가 길고 무거운 자재도 핸들링 가능
- 가스 전환장치를 탑재하여 소진시 자동으로 가스통 전환가능
- 전자동 컨버전 기능 탑재로 자재(Leadframe/Substrate)크기 변경 시 손쉬운 운용
- 특수 절연된 전극 구조로 균일한 표면 접촉각 제어 가능: 10도 미만
- PC기반의 프로그램 제어(C++)와 손쉬운 터치스크린 조작 방식
- 매거진 자동 로딩/언로딩 기능으로 작업자의 편리성과 미스오퍼레이션 방지
- 고품질 및 균일성으로 믿을 수 있는 세정능력
- 특화된 가스 노즐 디자인으로 균일한 크리닝 효과
- 국산화된 장비로 저렴한 가격과 낮은 운영 비용