System | PCBase Control / Windows XP / Touch Screen |
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RFGenerator & Matcher | 1kw/ 13.56Mhz / Air Cooling, Safety Interlock |
VacuumPump (Built in System) |
OilRotary Pump(290L/Min@60Hz) [*Optional: Dry Pump] |
Gas Flow Controller | 1Mass Flow Controller for Ar or other gas |
SystemDimension | (W)1870*(H)1755*(D)1095mm |
ChamberDimension | (W)306*(H)27.5*(D)281mm |
ElectricalPower | 220VAC,3Phase, 25A, 50/60Hz |
Capability | 3 Lane(Strip Width:62/74/77.5mm) 2 Lane(Strip Width: 95mm) |
ConversionWidth | 62/74/77.5/95mm |
Weight | 1,500kg |
LeadTime(UPH) | 51Strips/hr based on 180sec C/T |
Facility | CDA:5kg/cm2 N2:4kg/cm2 Ar:3kg/cm2 |
- 可容纳宽薄型PKG及Warpage严重的材料(Max.10mm)
- 采用Carrier形式的特殊设计,从而保证Warped strip的使用
- 加入手动转换功能,材料(Substrate)大小发生变动时操作简单
- 采用特殊绝缘电极结构,可控制均匀的表面接触角度 : 低于10度
- 通过电脑程序控制(C++),触屏操作模式,简单易用
- 自动加载/卸载功能为操作者提供方便并防止误操作的发生
- 高品质且均匀的可靠清洗能力
- 特殊气体喷头设计,实现均匀的清洗效果
- 国产设备,价格及运营费用低廉