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VSP-88D Pro1-L300

VSP-88D Pro1-L300

Application

Specification

System PC Base Control / Windows XP / Touch Screen
RFGenerator & Matcher 1㎾ / 13.56㎒ / Air Cooling, Safety Interlock
VacuumPump
(Built in System)
Dry Pump (620L/Min @50/60㎐)
[*Optional : Oil Pump]
GasFlow Controller 2Mass Flow Controller for Ar or other gas
SystemDimension (W)1800*(H)1570*(D)1270㎜
ChamberDimension (W)284*(H)33*(D)434㎜
ElectricalPower 220VAC, 3Phase, 25A, 50/60㎐
Capability Strip Width : W24.5~110㎜ (~80㎜ : 4Lane / 100㎜ : 3Lane)
Strip Length : W170~300㎜
Transferring MGZ to MGZ Conveyor Loading
Weight 1,200㎏
LeadTime(UPH) 270 strips/hr, with 3Lanes (based on plasma time 10sec)
Facility CDA : 5㎏/㎠
N2 : 4㎏/㎠
Ar : 3㎏/㎠

Features

- 长推杆设计,可控制偏长偏重的材料
- 加入气体转换装置,气体用完后可自动转换气筒
- 加入全自动转换功能,材料(Leadframe/Substrate)大小发生变动时操作简单
- 采用特殊绝缘电极结构,可控制均匀的表面接触角度 : 低于10度
- 通过电脑程序控制(C++),触屏操作模式,简单易用
- 自动加载/卸载功能为操作者提供方便并防止误操作的发生
- 高品质且均匀的可靠清洗能力
- 特殊气体喷头设计,实现均匀的清洗效果
- 国产设备,价格及运营费用低廉