System | PC Base Control / Windows XP / Touch Screen |
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RFGenerator & Matcher | 1㎾ / 13.56㎒ / Air Cooling, Safety Interlock |
VacuumPump (Built in System) |
Dry Pump (620L/Min @50/60㎐) [*Optional : Oil Pump] |
GasFlow Controller | 2Mass Flow Controller for Ar or other gas |
SystemDimension | (W)1800*(H)1570*(D)1270㎜ |
ChamberDimension | (W)284*(H)33*(D)434㎜ |
ElectricalPower | 220VAC, 3Phase, 25A, 50/60㎐ |
Capability | Strip Width : W24.5~110㎜ (~80㎜ : 4Lane / 100㎜ : 3Lane) Strip Length : W170~300㎜ |
Transferring | MGZ to MGZ Conveyor Loading |
Weight | 1,200㎏ |
LeadTime(UPH) | 270 strips/hr, with 3Lanes (based on plasma time 10sec) |
Facility | CDA : 5㎏/㎠ N2 : 4㎏/㎠ Ar : 3㎏/㎠ |
- 长推杆设计,可控制偏长偏重的材料
- 加入气体转换装置,气体用完后可自动转换气筒
- 加入全自动转换功能,材料(Leadframe/Substrate)大小发生变动时操作简单
- 采用特殊绝缘电极结构,可控制均匀的表面接触角度 : 低于10度
- 通过电脑程序控制(C++),触屏操作模式,简单易用
- 自动加载/卸载功能为操作者提供方便并防止误操作的发生
- 高品质且均匀的可靠清洗能力
- 特殊气体喷头设计,实现均匀的清洗效果
- 国产设备,价格及运营费用低廉