解决Clean Oven风量不足问题,确保多风向,提升Cure品质
采用HEPA Filter(99.97% 0.3㎛),实现Class100清洁度
采用Digital压差计,自动告知Filter更换时间
采用AutoDoor与VGA联动实现自动运行
停电时也可以Door Open
控温能力优秀,可提供最佳温度均匀度
电脑控制,使用方便
使用专用软件,操作简单,数据管理方便
密封及隔热效果显著的结构设计
采用防止温度过热装置,保护材料
什么是Class100?
非常干净的环境,要求每ft3内0.5㎛大小的颗粒在100个以下,是对清洁度要求非常高的环境。
一般室内空间的清洁度大概在Class 500000左右
Model | VSCO-2CM | |
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Control | Temp. Control | UP-55A(30 Pattern, 99Segment) |
Main. Control | IPC | |
Temperature | Range | Amb.+10℃ ~ 250℃ |
Uniformity | ±3% | |
Ramp up time | Room Temp ~ 175℃ Within 30 min | |
Cooling down time | 175℃ - 80℃ Within 30 min | |
Sensor type | K-CA | |
Cleanliness | Main Filter | HEPA Filter (99.97% 0.3㎛) |
Air Cleanliness | Fad. Standard 209E Class100, ISO 14644-1 Class5 | |
AirFlow Type | Horizontal | |
Cooling type | Water Cooling | 2~5kg/cm2 |
Purge | N2 Gas | 0 ~ 200 SCFH |
Dry Air | 0 ~ 200 SCFH | |
Material | Internal | Stainless Steel |
External | Stainless Steel 1.2t or Steel 1.2t power coating | |
Heater | 12kw / Chamber | |
Insulation | Mineral wool | |
Door gasket | Anti ESD Silicone Rubber | |
Safety device | Electronic Control over temp. limit 1ea, Mechanical over temp. limit 1ea |
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Size (W×D×H) | Internal(㎜) | 660×750×800 |
External(㎜) | 1540×1500×1970 | |
Electric requirement | 220VAC, 3 Phase 50Hz/60Hz |
Automatic Door : 使用AGV,可自动运行
Clean Oven : Class100 (采用High Temp HEPA Filter, 99.97% 0.3㎛)
自动显示Filter更换时间
通过多风量设计保持温度的均匀性 : Uniformity ±3%
控温准确度 : ±0.1℃
可单独使用,节省各真空腔装载方式的Cycle time
Digital Recording功能及联网功能
通过控制板调整温度以及实现多步固化(Multi Step Cure)
局域网及CIM、PC硬件内保管数据
LCD显示屏自动显示IN/OUT时间