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VSHO-1CM
Application
增加Polyimide感光膜与Wafer之间的粘合力
硬化烘干
优秀的控温能力
电脑控制系统，使用方便
使用专用软件，操作简单，数据管理方便
密封及隔热效果显著的结构设计
采用防止温度过热装置，保护材料
Specification
| Model | VSHO-1CM | ||
|---|---|---|---|
| Oxygen Monitoring | O2 Analyzer | Optional | |
| Cooling Type | Water Cooling | 3 – 5 Kg/cm2, below 20℃ | |
| Purge | N2 Gas | 0 – 500 SCFH | |
| Exhaust | Cold Trap | Water Cooling | |
| Material | Internal | Stainless Steel | |
| External | Stainless Steel or Steel Powder Coating | ||
| Heater | 24 KW / Chamber | ||
| Insulation | Ceramic Wool | ||
| Safety Device | Electrical Over Temp. Limit | ||
| Mechanical Over Temp. Limit | |||
| Electric Requirement | 220VAC or 380VAC, 3 Phase, 50/60Hz | ||
| Network | SECS/GEM, LAN network | ||
Features
温度范围 : 10℃ ~ 450℃
控温准确度 : ±0.5℃
Digital Recording功能及联网功能
通过控制板调整温度以及实现多步固化（Multi Step Cure）
局域网及CIM、PC硬件内保管数据
LCD显示屏自动显示IN/OUT时间