VSP-88H

Application

提高D/B、W/B、M/D工序中的黏性
封胶(Mold)工序中针对分层的解决方案
可按照不同顾客的需求提供定制型设计服务

Specification

Power source	RF Generator, 13.56MHz, 600W [Option : 1000Watts]
Vacuum pump	1560L/min oil rotary pump with 300ß©/h booster [Option : Dry pump]
Gas flow controller	1 mass flow controller [Option : Additional MFC (O2 or other gas)]
System dimension	W1110mm x H1850mm x D1010mm
Internal chamber dimension	size W580mm x H530mm x D580mm
Weight	600KG
Electrical power	200 VAC, 3Phase, 30A
Loading capacity	8~16 Magazines depends on material / application
PC based main control	Windows XP & C++ Language & TFT LCD touch screen

Features

- 针对侧面有开槽的弹夹（Slotted Magazine）开发出垂直形态的搁板（Shelf）专利，使得其清洗能力比以往的竞争企业高出20%
- 高容量 : 最多可容纳16弹夹(标准.容纳8弹夹)
- 可选择油回转式真空泵及增压泵内置型（高真空） / 无油泵
- 为保证安全采用半旋转门方式
- 提高钢丝的黏性以及防止封胶分层
- 采用喷射型喷头设计，以便能够达到均匀的清洗效果
- 采用特殊的绝缘方式，以便能够为不锈钢真空腔与材料有效传达RF能量
- 设备价格低廉，同时部分零部件的国产化可有效降低成本
- 使用寿命较长的不锈钢真空腔