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VSP-88D PP1

VSP-88D PP1

Application

Specification

System PCBase Control / Windows XP / Touch Screen
RFGenerator & Matcher 1kw/ 13.56Mhz / Air Cooling, Safety Interlock
VacuumPump
(Built in System)
OilRotary Pump(290L/Min@60Hz)
[*Optional: Dry Pump]
Gas Flow Controller 1Mass Flow Controller for Ar or other gas
SystemDimension (W)1870*(H)1755*(D)1095mm
ChamberDimension (W)306*(H)27.5*(D)281mm
ElectricalPower 220VAC,3Phase, 25A, 50/60Hz
Capability 3 Lane(Strip Width:62/74/77.5mm)
2 Lane(Strip Width: 95mm)
ConversionWidth 62/74/77.5/95mm
Weight 1,500kg
LeadTime(UPH) 51Strips/hr based on 180sec C/T
Facility CDA:5kg/cm2
N2:4kg/cm2
Ar:3kg/cm2

Features

- 可容纳宽薄型PKG及Warpage严重的材料(Max.10mm)
- 采用Carrier形式的特殊设计,从而保证Warped strip的使用
- 加入手动转换功能,材料(Substrate)大小发生变动时操作简单
- 采用特殊绝缘电极结构,可控制均匀的表面接触角度 : 低于10度
- 通过电脑程序控制(C++),触屏操作模式,简单易用
- 自动加载/卸载功能为操作者提供方便并防止误操作的发生
- 高品质且均匀的可靠清洗能力
- 特殊气体喷头设计,实现均匀的清洗效果
- 国产设备,价格及运营费用低廉