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VSP-88D Pro+

VSP-88D Pro+

Application

无分层
提高W/B、D/B工序中的黏性
可按照不同顾客的需求提供定制型设计服务

Specification

Power source RF Generator, 13.56MHz(2 sets)
Main control Industrial Personal Computer with touch screen
Vacuum pump Built-in type Dry Pump(Option : Oil pump)
Gas flow controller
System dimension
1 mass flow controller for Air(1 set STD)
W2450mm x H1960mm x D1470mm
Chamber dimension W284mm x H33mm x D434mm

Features

优秀的清洗能力 - 根据不同材料将水滴接触角度控制在10度以下
4条线可同时作业,清洗时间短、效率高
简约型连接设计及垂直上下真空腔
单一inline系统
小真空腔真空Plasma
采用电脑操作、触摸屏,使用简单
局域网及CIM