无分层
提高W/B、D/B工序中的黏性
可按照不同顾客的需求提供定制型设计服务
Power source | RF Generator, 13.56MHz(2 sets) |
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Main control | Industrial Personal Computer with touch screen |
Vacuum pump | Built-in type Dry Pump(Option : Oil pump) |
Gas flow controller System dimension |
1 mass flow controller for Air(1 set STD) |
W2450mm x H1960mm x D1470mm | |
Chamber dimension | W284mm x H33mm x D434mm |
优秀的清洗能力 - 根据不同材料将水滴接触角度控制在10度以下
4条线可同时作业,清洗时间短、效率高
简约型连接设计及垂直上下真空腔
单一inline系统
小真空腔真空Plasma
采用电脑操作、触摸屏,使用简单
局域网及CIM