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VSP-88D Pro+

VSP-88D Pro+

Application

無딜레미네이션
W/B, D/B 공정에서의 접착력 향상
고객 맞춤형 디자인 가능

Specification

Power source RF Generator, 13.56MHz(2 sets)
Main control Industrial Personal Computer with touch screen
Vacuum pump Built-in type Dry Pump(Option : Oil pump)
Gas flow controller
System dimension
1 mass flow controller for Air(1 set STD)
W2450mm x H1960mm x D1470mm
Chamber dimension W284mm x H33mm x D434mm

Features

우수한 세정 능력 - 자재에 따라 10도 이하의 물방울 접촉각
4레인 동시 작업 및 짧은 세정 시간에 따른 높은 생산력
심플한 유틸리티 연결 디자인 및 수직 업 다운 챔버
싱글 인라인 시스템
작은 챔버의 진공 플라즈마
PC기반과 터치 스크린을 통한 쉬운 운용
렌 네트워킹 및 CIM