D/B, W/B, M/D 공정에서의 접착력 향상
Mold 공정 딜라미네이션 솔루션
고객 맞춤형 디자인 가능
SystemDimension | 1750(W)x 1250(D) x 1700(H)mm |
---|---|
InternalChamber Dimension | 342.2(W)x 652.2(D) x 27.5(H)mm |
PowerSource | STD.RF generator, 1KW, 13.56MHz |
VacuumPump | STD.Dry Pump |
GasFlow controller | 1Mass Flow Controller |
PCBased Main Control | IndustrialPC, C++, Touch Panel |
ActualSPH | 560Strips/h (5 lanes) |
Utility | 220VAC, 3 Phase, 50/60Hz, Air 4~6 Kgh/cm3 |
스트립 기반의 플라즈마 시스템
자동 로딩 언로딩
회전 스테이지 디자인
탑챔버 전극 구조
동일한 로딩,언로딩 스테이지 존
진공펌프 내장형 설계
랜 네트워킹 및 CIM
그리퍼 이동 타입