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VSP-88D Neo1

VSP-88D Neo1

Application

D/B, W/B, M/D 공정에서의 접착력 향상
Mold 공정 딜라미네이션 솔루션
고객 맞춤형 디자인 가능

Specification

SystemDimension 1750(W)x 1250(D) x 1700(H)mm
InternalChamber Dimension 342.2(W)x 652.2(D) x 27.5(H)mm
PowerSource STD.RF generator, 1KW, 13.56MHz
VacuumPump STD.Dry Pump
GasFlow controller 1Mass Flow Controller
PCBased Main Control IndustrialPC, C++, Touch Panel
ActualSPH 560Strips/h (5 lanes)
Utility 220VAC, 3 Phase, 50/60Hz, Air 4~6 Kgh/cm3

Features

스트립 기반의 플라즈마 시스템
자동 로딩 언로딩
회전 스테이지 디자인
탑챔버 전극 구조
동일한 로딩,언로딩 스테이지 존
진공펌프 내장형 설계
랜 네트워킹 및 CIM
그리퍼 이동 타입