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VSP-88D+

VSP-88D+

Application

D/B, W/B, M/D 공정에서의 접착력 향상
고객 맞춤형 디자인 가능

Mold 공정 딜라미네이션 솔루션

Specification

System PCBase Control / Windows XP / Touch Screen
RFGenerator & Matcher 1kW/ 13.56MHz / Air Cooling, Safety Interlock
VacuumPump
(Built in system)
OilRotary Pump
[*Optional : Dry Pump]
GasFlow Controller 1Mass Flow Controller for Ar or other gas
SystemDimension (W)2950*(H)2012*(D)1390mm
ChamberDimension (W)284*(H)33*(D)434mm
ElectricalPower 220VAC,3Phase, 25A, 50/60Hz
Capability(UPH) 2Lane: 140 Boats/hr
ConversionWidth 25~80mm
Weight 1800kg
LeadTime 40seconds per 1 cycle(20 secs treatment)
Facility CDA :5kg/cm2
N2: 4kg/cm2
Ar:3kg/cm2

Features

FCBGA Matrix Boat 적용 가능
매거진에서 매거진으로의 단일 인라인 시스템
우수한 세정 능력 - 자재에 따라 10도 이하의 물방울 접촉각 VS에서 생산하는 장비중 비교적 사이즈가 큰 장비
PC기반과 터치 스크린을 통한 쉬운 운용

랜 네트워킹 및 CIM
높은 품질과 안정적인 균일도
노즐 설계로 향상된 균일성
저렴한 가격 및 낮은 운영비